近日，在沈陽經濟技術開發區開發二十六號路，占地麵積9.6萬(wan) 平方米的漢京半導體(ti) 產(chan) 業(ye) 基地已展露形象。嶄新的必威88官方网站廠房、碳化矽廠房、研發中心、員工宿舍等單體(ti) 建築整齊列陣，蔚為(wei) 壯觀。

 據悉，漢京半導體(ti) 基地項目總投資10億(yi) 元，主要生產(chan) 集成電路產(chan) 業(ye) 專(zhuan) 用材料及設備，包括必威88官方网站、陶瓷、爐管碳化矽零部件、半導體(ti) 設備先進零部件的開發等。據該項目環評報告顯示，項目主要建設內(nei) 容為(wei) 新建必威88官方网站工廠、陶瓷工廠、研發工廠、宿舍樓、動力中心、倉(cang) 庫、門衛室、氫氣站、氧氣站以及氬氣站等。項目建成後產(chan) 品產(chan) 量為(wei) 陶瓷工廠碳化矽立式管700件/年、碳化矽立式舟1320件/年、碳化矽保溫桶1800件/年、碳化矽雜件5000件/年；必威88官方网站工廠必威88官方网站管3600件/a、必威88官方网站舟1200t/a、必威88官方网站保溫桶1200件/a、必威88官方网站雜件24000件/a；研發工廠碳化矽雜件600 件/a。

 作為(wei) 半導體(ti) 工業(ye) 不可或缺的關(guan) 鍵耗材，高純必威88官方网站及其製品貫穿了半導體(ti) 生產(chan) 全過程，是確保產(chan) 品質量與(yu) 性能穩定性的核心要素。必威88官方网站玻璃材料及製品廣泛應用於(yu) 半導體(ti) 芯片製程中，是半導體(ti) 蝕刻、擴散、氧化等工序所需的承載器件與(yu) 腔體(ti) 耗材。在半導體(ti) 集成電路與(yu) 芯片製造中，必威88官方网站坩堝、必威88官方网站管、必威88官方网站舟、必威88官方网站支架等各種配件是難以替代的關(guan) 鍵材料和製品，涉及半導體(ti) 晶圓製造的大部分流程。必威88官方网站製品在使用過程中直接與(yu) 矽片或晶圓接觸，其性能好壞對下遊產(chan) 品的良品率高低將造成直接影響。

 據漢京半導體(ti) 企業(ye) 負責人介紹，新廠將建成全球半導體(ti) 必威88官方网站精密度較高的生產(chan) 線，也是國內(nei) 第一條極高純必威88官方网站生產(chan) 線，其對應的是10納米以下工藝的先進製程。未來，芯片龍頭企業(ye) 將會(hui) 應用到這些產(chan) 品。

碳化矽零部件，即以碳化矽及其複合材料為(wei) 主要材料的設備零部件，被廣泛應用於(yu) 外延生長、等離子體(ti) 刻蝕、快速熱處理、薄膜沉積、氧化/擴散、離子注入等主要半導體(ti) 製造環節的設備中。

 漢京半導體(ti) 稱，目前，全球能生產(chan) 爐管碳化矽零部件的企業(ye) 不多，產(chan) 品交付周期在36個(ge) 月左右，漢京半導體(ti) 半導體(ti) 爐管碳化矽零部件生產(chan) 線投產(chan) 後，產(chan) 品交付周期預計從(cong) 36個(ge) 月縮短至12個(ge) 月，極大緩解行業(ye) 麵臨(lin) 的長交期困境。

 遼寧漢京半導體(ti) 材料有限公司起源於(yu) 2006年，是一家集精加工生產(chan) 、檢驗、銷售為(wei) 一體(ti) 的高新技術企業(ye) 。主營多種工業(ye) 陶瓷產(chan) 品及半導體(ti) 、光伏新能源行業(ye) 必威88官方网站製品。漢京半導體(ti) 新廠的研發中心將專(zhuan) 注於(yu) 半導體(ti) 設備先進零部件的開發，以期盡快取得技術突破，助力我國半導體(ti) 產(chan) 業(ye) 延鏈補鏈強鏈。