現在國內生產四氯化矽的主要方法有哪些？

匿名用戶 | 2017-05-22 10:49

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（共1個回答）
  • 生產海綿鋯過程中有氯化階段需要在鋯英砂中加入矽粉一起氯化；另外還有專門為了生產四氯化矽而用矽粉與氯氣反應生成四氯化矽；國外的高純矽烷生產過程中用三氯氫矽生成矽烷和四氯化矽，生成四氯化矽；生產海綿鈦過程中氯化階段也生成四氯化矽改良西門子法的三氯氫矽生產多晶矽過程中有副產物四氯化矽產生
    匿名用戶 | 2017-05-22 10:49

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